對于 精密零件加工機床或測量儀器，由于設計， 零件加工制造、裝配以及使用條件等方面的原因，使其加工出來的產品有誤差，或者對零件加工產品的測量結果要產生誤差，此誤差的大小和變化就是 精密機械零件加工廠該設備的精度。

影響精密機械零件加工廠設備精度的原因各種各樣，因而精密零件加工產生各種誤差，根據特性可以分為三大類，即粗大誤差、偶然誤差和系統誤差。

在精密零件加工過程中，粗大誤差是設備在工作中由于激烈的瞬時變化，如沖擊、碰撞及工作條件的波動造成的誤差，這種誤差精密機械零件加工廠可作拋棄處理。

在精密零件加工過程中，偶然誤差是設備工作中其本身一些尚未控制好的微小因素，如傳動鏈中的間隙變化、零件的彈性變形、潤滑油帶來的停滯、摩擦力的變化等造成的誤差。這些誤差的大小變化及誤差方向沒有規律，對這些因素要精密機械零件加工廠嚴格加以控制。現代數控機床及加工中心可以對影響因素隨時監控并反饋加工，自動校正。對于測量儀器的測量結果，可以多次等精度測量，將結果處理取值。

在精密零件加工過程中，系統誤差是影響設備精度的主要因素，在各項誤差中占主要成分。一般由設備的關鍵部件、零件精度和裝配精度決定，其誤差的大小和變化規律固定不變，可以采用誤差校正機構來減少和消除系統誤差對設備工作精度的影響。