在 精密機械加工領域，電容測微機構主要的誤差來源只要集中在5各方面，這里就讓深圳 精密機械零件加工廠來為你解析：

1、電容機構中兩極之間有介質(空氣、硅油、煤油等)，這些介質受溫度、濕度及高頻激勵的影響會產生附加損耗和電效應，使靈敏度降低。

2、當電容極板尺寸較厚、之間間隙較大時會造成邊緣效應，使靈敏度下降，并產生非線性，為了消除邊緣效應可采用保護環結構。此外，可以減小極板厚度或在非金屬材料上涂一層薄金屬膜作為極板。

3、兩極板之間靜電場引力和測量推力之間不平衡造成的誤差。

4、電容傳感器電容很小，容易受到電路中寄生電容的影響，可將電纜屏蔽和傳感器整體屏蔽克服干擾和寄生電容影響。

5、溫度變化引起其中介質介電常數的溫度系數變化，引起結構中零件尺寸的變化，而造成大的溫度誤差。所以，不管用什么樣的 CNC加工工藝，結構所用材料和結構元素的選擇要滿足對溫度的可補償性。