在精密零件加工過程中，對于軸系徑向回轉精度測量，國際機械生產技術研究協會(CIRP)規定用一個精密鋼球調裝在軸系的回轉中心上，為了消除鋼球安裝誤差采用兩個位移傳感器互成90°同時測量鋼球的偏擺。經電氣濾掉一次諧波，此值就是軸系的徑向誤差運動精度。圖2-51所示為回轉軸系徑向精度的測量。

在精密零件加工廠，一般用非接觸電容式測微傳感器，測量的結果實質上就是旋轉軸中心的誤差運動軌跡。同理，把精密鋼球換成一個反射鏡可以測量軸系的傾角誤差運動的精度。這種用兩個測微傳感器互成90°的安裝處理，把由于精密鋼球或反射鏡的安裝誤差引起的一次諧波去掉了。

但是，也把由于軸系本身的彎曲、兩軸頸同軸度誤差、主軸上頂尖安裝的同軸度誤差和傾斜度誤差而造成的不應去掉的一次諧波誤差也去掉了，可能會因小失大。所以，對精密鋼球或反射鏡要精細調整到誤差最小，用一個測量微儀在一個方向測量是最好的方法。

在CNC精密零件加工生產實際中用測微儀（電感式、電容式等）直接于軸系徑向測得徑向值，于軸向測得軸向值，于頂尖的錐面上測得徑向和軸向的綜合值。