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圖2-14所示空氣靜壓軸系是英國CUPE公司的一種空氣靜壓軸系。軸系前、后端分別采用半球面結構,軸套可以調節間隙。為了防止過載或者意外斷氣等情況下損壞軸系,在球面上安裝了一層多孔石墨。在機械加工廠家,軸系由無刷力矩電機驅動,回轉精度軸向和徑向均可達到0.00015mm。
圖2-15所示空氣靜壓軸系是日本的一種超精車床的空氣靜壓主軸軸系。軸系右端有直徑為70mm、長為60mm的凸球,壓力氣從12個孔徑為0.3mm的氣嘴進入氣隙(12~18μm)中,球面圓度誤差為0.4μm,表面粗糙度為Ra0.2μm。左端凸球直徑為22mm、長為27mm,同樣由12個氣嘴進氣,進氣壓力為0.4~8MPa,軸向承載980N,徑向承245N,旋轉時主軸浮起。在機械加工中,主軸最高轉速為5000r/min,軸系徑向跳動可達0.03μm,軸向跳動可達0.01μm,車削的零件表面粗糙度可達Ra0.01~0.02pm。